美國激光干涉儀

      激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
    激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
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激光干涉儀被來自世界的用戶用于：
    CMM和 CNC的校準補償
    機床導(dǎo)軌平行度的測量
    旋轉(zhuǎn)軸的測量
    垂直度的測量
    對角線的測量
    CNC反饋
    機器人位置反饋
    激光干涉儀介紹：

5D/6D標準型：
    1. 線性：0.5ppm .
    2. 測量范圍：40米(1D可選80米)
    3. 線性分辨力：0.001um.
    4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
    5. 大范圍：800角秒
    6. 滾動角精度：1.0角秒
    7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
    8. 直線度大范圍：500um
    9. 垂直度精度：1角秒
    10. 溫度精度：0.2攝氏度
    11.濕度精度：5%
    12.壓力精度：1mmHg
 

主要特點：
    1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
    2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
    3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米
    4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。
    5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
    6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間